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VAT社製ゲートバルブ 10シリーズ ICF152 圧空type 2台
VAT社製ゲートバルブ 10シリーズ ICF203 圧空type 2台
VAT社製ゲートバルブ 10シリーズ ICF253 圧空type 1台
VAT社製ゲートバルブ 10シリーズ ICF305 圧空type 1台
MKS社製スロットルバルブ 253B コントローラー無 1台
A&N社製ボールバルブ NW50type 面間寸法135 5台
ライボルト社製ロータリーポンプ D25BCS 1台

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